Schnell aufstrebende Märkte mit hohen technischen Anforderungen legen immer mehr Wert auf hervorragende Sauberkeit, da molekulare Verunreinigungen die Funktionalität ihrer Produkte negativ beeinflussen. Im Bereich der EUV-Lithographie werden diese beispielsweise durch die „Generic Standards“ GSA 07 1221 & GSA 07 2221 definiert. Der Schlüssel zur Sicherung der Produktqualität liegt demnach in der korrekten Bestimmung des Restgasgehalts. Dies ist mit OmniGrade, dem neuen kundenspezifischen System von Pfeiffer Vacuum, möglich.
OmniGrade entspricht den spezifischen Prüfanforderungen. Eine Konfiguration umfasst zwei oder drei Kammern. Sie besteht aus der Spektrometerkammer, in der das Massenspektrometer positioniert wird, sowie einer Messkammer, in der die Proben während der Messung platziert werden. Eine Schleusenkammer zur Minimierung des Systemuntergrunds und des Probentransports durch ein automatisches Transfersystem ist optional erhältlich. OmniGrade wurde für einen geringen Platzbedarf und eine einfache Integration mit den neuesten Schnittstellen konzipiert. Zudem ist eine Reinraumkompatibilität möglich.