Mit dem neuen Massenspektrometer HiQuad Neo vereint Pfeiffer Vacuum starke Leistung, Flexibilität und einfache Bedienung. Das Massenspektrometer erreicht eine hohe Messgeschwindigkeit von bis zu 125 μs/u. Es zeichnet sich durch eine sehr gute Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich aus. Je nach Anwendung können unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen ausgewählt werden. Mit diesen Eigenschaften ist das HiQuad Neo besonders für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, die Integration in Analysesysteme sowie Sauberkeitsverifizierungen für die EUV-Lithografie geeignet.
Ein Klick für die Lecksuche
Mit Hilfe der PV MassSpec Software lässt sich das Massenspektrometer einfach bedienen. Die Software bietet eine übersichtliche und benutzerfreundliche Plattform zur Aufnahme und Darstellung von Messdaten sowie von Parametersätzen. Mit dem integrierten Sequenzer können komplette Messabläufe einfach und automatisiert programmiert werden. Ein Klick genügt, um die Lecksuche und Vakuumdiagnose durchzuführen. Darüber hinaus ermöglicht die Software automatisiertes Kalibrieren und Tunen. Die Definition von Messrezepten ist einfach, eine Verknüpfung der massenspektrometrischen Daten mit externen Signalen möglich. Die Verwendung einiger vorhandener Komponenten der Vorgängergeneration, wie beispielsweise des Analysators, ist möglich. Dies reduziert Kosten und Abfall.