Den zuverlässigen, sauberen und effektiven Einsatz von Openair-Plasma in der Elektronikindustrie können Besucher vom 16.-19. November auf der productronica in München betrachten. Plasmatreat GmbH, Anbieter in der Entwicklung und Herstellung von atmosphärischen Plasmasystemen, zeigt ein System zur Oberflächenvorbehandlung von Bauteilen für die Halbleiterindustrie. Durch die Plasmabehandlung werden die Oberflächeneigenschaften von Bauteilen verändert und für den nachfolgenden Verarbeitungsprozess optimiert.
„Wir werden auf der productronica an zwei geschlossenen Fertigungszellen sowohl die Openair-Plasma- als auch die Oberflächenbehandlung mit einer speziellen Plasma-Plus-Düse zur Nanobeschichtung präsentieren,“ sagt Anne-Laureen Lauven, Leitung Marketing bei Plasmatreat. In der einen Zelle ist die Oberflächenbehandlung mit einem Zwei-Spur-Konzept für schnelle Taktzeiten in der Halbleiterfertigung zu sehen. In der anderen Zelle können Besucher die Aktivierung, Reinigung und Beschichtung unterschiedlicher Bauteile auf vier verschiedenen Movern beobachten. Der kinematische Bauteiltransport XPlanar von Beckhoff fährt die Bauteile zur Plasmabehandlung passend unter die jeweilige Düse.