Ageeth Bol, Professorin für Chemie, Materialwissenschaften und Ingenieurwesen an der University of Michigan, und ihr Team verwendeten ein plasmaunterstütztes Verfahren zur Atomlagenabscheidung (PEALD), um 2D-Molybdändisulfid (MoS2) unter Verwendung eines organometallischen Vorläufers und Di-Tert-Butyldisulfid (TBDS) in Kombination mit Wasserstoff-Plasma abzuscheiden. Diese Forschung stellt eine Methode zur Verwendung von TBDS-Flüssigkeit vor, die deutlich weniger gefährlich ist als Schwefelwasserstoff (H2S).
„Diese Entwicklung ist ein wichtiger Schritt in der Entwicklung der großtechnischen Integration von 2D-Übergangsmetall-Dichalkogeniden in kommerzielle Geräte“, sagte Ganesh Sundaram, Vizepräsident für Technologie für ALD und Molekularstrahlepitaxie (MBE) bei Veeco. „Wir sind gerade dabei, ein zweites Fiji-System für unsere Gruppe in Betrieb zu nehmen. Das ist das dritte System, das die University of Michigan erhalten hat, um weitere Forschungsaktivitäten zu unterstützen“, erläuterte Prof. Bol.
Zweidimensionale Materialien sind extrem dünn und verfügen über einzigartige, kontrollierbare Eigenschaften, darunter außergewöhnliche elektrische Leitfähigkeit, Haltbarkeit und optische Transparenz.