Vakuumbeschichtungen kommen in zahlreichen industriellen Anwendungen zum Einsatz. Neben funktionalen Eigenschaften wie Härte oder Verschleißbeständigkeit spielt die optische Wirkung eine zentrale Rolle. Farbe, Sättigung und Glanzgrad reagieren sensibel auf Veränderungen von Prozessparametern, so dass bereits geringe Abweichungen zu wahrnehmbaren Farbunterschieden führen können. Eine reproduzierbare Farbprüfung ist daher ein wichtiger Bestandteil der Qualitätssicherung.
Inline-Messung im Hochvakuum
Für die kontinuierliche Überwachung der Farbwerte während der Beschichtung stehen Inline-Messsysteme zur Verfügung, die direkt in der Vakuumkammer eingesetzt werden. Der colorSENSOR CFO von Micro-Epsilon ist für Messungen unter Hochvakuumbedingungen bis 10⁻⁵ mbar sowie bei Temperaturen von bis zu 600 °C ausgelegt. Speziell entwickelte Sensorsysteme wie der Sensor colorSENSOR CFO liefern auch unter diesen Bedingungen stabile Messergebnisse . Die angegebene Reproduzierbarkeit liegt bei ΔE < 0,3, bei Messfrequenzen von bis zu 30 kHz. Dadurch lassen sich Farbänderungen während des Prozesses in Echtzeit erfassen.
Unterstützung für PVD- und CVD-Verfahren
Vakuumbeschichtungen werden sowohl mit physikalischen Verfahren (PVD) als auch mit chemischen Verfahren (CVD) hergestellt. Beide Technologien unterscheiden sich hinsichtlich Prozessführung, Temperaturprofilen und Schichtentstehung. Inline-Farbmessungen können bei beiden Verfahren zur Prozessüberwachung beitragen, indem sie Rückschlüsse auf Schichtqualität und optische Eigenschaften ermöglichen. Die kontinuierlich erfassten Messdaten unterstützen eine gleichbleibende Farbqualität über unterschiedliche Beschichtungsverfahren und Materialsysteme hinweg und können dazu beitragen, Ausschuss zu reduzieren.