Der mit CSiGeSn beschichtete Wafer ist optisch nicht von einem herkömmlichen zu unterscheiden.

Eine stabile Legierung aus Kohlenstoff, Silizium, Germanium und Zinn haben Forschende des Forschungszentrums Jülich und des Leibniz-Instituts für innovative Mikroelektronik (IHP) entwickelt. Ein derartiges Material gab es bisher nicht, wie das Forschungszentrum Jülich mittelt.

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Sie freuen sich über den Award: (Von links): Dr. Martin Gutmann (Geschäftsführer Busch Produktions GmbH), Sami Busch (Mitinhaber und Co-CEO Busch Group), Roland Zundl (Geschäftsführer Dr.-Ing. K. Busch GmbH), Florian Wolfenstetter (Teamleiter CO2 Engineering Reverion), Ayla Busch (Mitinhaberin und Co-CEO Busch Group), Jeremias Weinrich (Mitbegründer und CPO Reverion), Kaya Busch (Mitinhaber und Co-CEO Busch Group), Heiko Eberle (CIO und Leiter Global IT Busch Group) und Thilo Rau (Geschäftsführer Busch Dienste GmbH).

Der „Innovation in Vacuum Busch Award 2025“ geht an das deutsche Unternehmen Reverion für seine Containerkraftwerke, mit denen es zur Bekämpfung des Klimawandels beiträgt. Reverion wurde 2022 als Spin-Off-Unternehmen der TU München gegründet, wo die Gründer ihr Hochtemperatur-Brennstoffzellensystem…

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Die münzgroßen Rotoren für Gaspedalsensoren werden bei FWB Kunststofftechnik im Folgeverbundspritzen aus Aluminium gestanzt und später mit Kunststoff umspritzt.

Beim Folgeverbundspritzen lassen sich Hybridteile aus Metall und Kunststoff in einem Werkzeug gleichzeitig stanzen und spritzgießen. Nur schade, wenn Kaltaufschweißungen das effiziente Verfahren ausbremsen. Diese kann man mit der richtigen Werkzeugbeschichtung aber vermeiden.

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Yurii Radiev und Gregor Witte untersuchen den inneren Aufbau organischer Elektronik; der Einschub zeigt einen Chip mit kontaktierten organischen Transistoren im Inneren der Apparatur.

Ein Forschungsteam der Philipps-Universität Marburg hat mit dem Max-Planck-Institut für Festkörperphysik in Stuttgart nachgewiesen, dass bestimmte Oberflächenfehler – so genannte „Fallenzustände“ – den Stromtransport in organischen Transistoren (OFETs) viel stärker beeinflussen als bisher gedacht.

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Die Grobvakuumpumpen von Pneumofore sichern die Pick-and-Place-Anwendungen bei Infineon in Dresden.

In der Halbleiterfertigung wird beim Thema Vakuumtechnik häufig das Augenmerk auf Ultravakuumprozesse gelegt, etwa bei Beschichtung mit Turbomolekularpumpen. Weniger im Fokus stehen hingegen Grobvakuumanwendungen, obwohl sie für viele automatisierte Prozesse, etwa Pick-and-Place-Schritte,…

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Das Xevo TQ Absolute XR ist ein Benchtop-Tandem-Quadrupol-Massenspektrometer. Bild: Waters

Mit dem Xevo TQ Absolute XR stellt die Waters Corporation, Milford/USA, ein zugleich robustes und messempfindliches Quadrupol-Massenspektrometer vor.

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Die neuen Vakuummessgeräte der Baureihe Centerline CNR messen über vier Dekaden im vollen Messbereich von 0,1 bis 1.000 Torr.

Die Pfeiffer Vacuum GmbH, Aßlar, stellt mit der Baureihe Centerline CNR eine Erweiterung ihrer Centerline-Produktfamilie vor. Die Vakuummessgeräte sind laut Hersteller besonders für die rauen Einsatzbedingungen in der Halbleiterindustrie geeignet.

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Argon-Plasma in der Vakuumkammer beim Magnetron-Sputtern, mit dem Substrat in der Bildmitte.

Forschende haben ein Verfahren entwickelt, in dem das richtige Timing funktionale Dünnschichten bei niedriger Prozesstemperatur ermöglicht. Anwendungen für die neue Methode gibt es sowohl in der Halbleiterindustrie als auch in künftigen Quanten- und Photonik-Techniken.

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Das Unternehmen Inorcoat aus Ostfildern hat sich auf PVD-Anlagen und Dienstleistungen rund um dieses Verfahren spezialisisiert.

PVD kann die heute noch weit verbreitete galvanische Verchromung von Teilen ablösen. Dies demonstriert ein deutscher Spezialist für das Verfahren anhand von Münzprägestempeln und weiteren Anwendungen. Dabei spielen auch Vakuumventilinseln eine wichtige Rolle.

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Moderne Dünnschichtsysteme erfordern mehr als Standardlösungen – sie brauchen intelligente Messverfahren, die Forschung und industrielle Anwendung verbinden. Der EFDS-Workshop am 10.–11. November 2025 in Linz zeigt, wie aktuelle Technologien, Digitalisierung und KI die Qualitätssicherung…

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