Die neue Baureihe besteht aus analogen kapazitiven Vakuummessgeräten, die über vier Dekaden im vollen Messbereich zwischen 0,1 und 1.000 Torr messen können, und ist in beheizten und unbeheizten Varianten erhältlich. Die Messgeräte werden im Idealfall in Kombination mit Druckregulierventilen verwendet und können für Anwendungen wie Trockenätzen, CVD- oder ALD-Prozesse eingesetzt werden. Zudem lassen sie sich auch in der Analytik, in F&E sowie in anderen Branchen nutzen. Bei dieser Erweiterung der Produktfamilie stehen fünf Ausführungen zur Verfügung: 36x, 37x, 38x, 39x und 30x. Alle Produkte der Baureihe entsprechen dem Semi-S2-Standard.
Die neue Baureihe bietet Optionen für Prozesse mit unterschiedlichen Temperaturen. 36x ist eine unbeheizte Variante für Messungen bei Umgebungstemperatur mit einer Genauigkeit von 0,2 %. Für Temperaturen von 45, 100, 160 und 200 °C sind temperaturgeregelte Varianten verfügbar. Die 45-°C-Variante bietet eine Genauigkeit von 0,15 %. Die anderen temperaturgeregelten Varianten bieten mit 0,4 % eine höhere Messgenauigkeit in Hochtemperatur- oder Heißgasprozessen als vergleichbare Messgeräte.
Ein Membransensor bildet das Herzstück des Messgeräts. Er wird durch eine Keramikabschirmung geschützt, die per Atomlagenabscheidung (ALD) aufgetragen wird. Sie bewahrt den Sensor sowohl vor den heißen Prozessgasen als auch vor Korrosion. Dies sichert Zuverlässigkeit und Genauigkeit sowie die Sensorlebensdauer, selbst unter Plasmabedingungen. Auch die Sensordrift wird reduziert.