Die Inline-Kathodenzerstäubungssysteme – zum Beispiel die Vistaris PVD mit vertikalem Substrattransport und die Generis PVD-Serie mit horizontalem Substrattransport – ermöglichen die präzise und genaue Abscheidung hochreiner, spezialisierter Schichtsysteme auf metallischen und Verbundwerkstoff-Substraten. Diese Beschichtungen optimieren die elektrischen und chemischen Eigenschaften der Bipolarplatten und gewährleisten eine hohe Effizienz sowie langfristige Stabilität in Wasserstoffanwendungen, wie der Maschinenbauer mitteilt. Die Generis PVD ist in den drei Baugrößen 750 S, 1250 M und 1800 L erhältlich. Die Beschichtungsfläche beträgt circa 510 x 1500 mm², 850 x 1000 mm² bzw. 1400 x 1600 mm². Beide Anlagentypen sind Inline-Beschichtungsanlagen und bieten damit Effizienzvorteile im Vergleich zu Batchanlagen.
Zu den typischen Merkmalen gehört nach Herstellerangaben die parallele Bearbeitung mehrerer Substrate, auch verschiedene Substratgrößen sind möglich. Die Maschinen verfügen über ein modulares Design, manuelle oder halbautomatische Laborversionen sind auf Anfrage möglich. Die Anlagen verfügen zudem für eine effiziente Substrat-Vorbehandlung über eine Substratheizung vor und während des Beschichtungsprozesses. Beidseitiges Sputtern ist ebenso möglich wie eine flexible Anpassung der Sputtersequenz. Um die Materialausnutzung zu maximieren, sind rotierbare zylindrische Magnetrons enthalten, dazu ein spezielles Edelmetall-Rückgewinnungssystem mit vollständiger Recyclingkette.