Serie von Vakuumeinlassfallen für ALD-Prozesse

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Die Mass-Vac Inc., North Billerica / USA, hat eine Produktlinie von Vakuumeinlassfallen für ALD-Prozesse am Markt eingeführt.

Die MV Positrap-Vakuum-Einlassfallen können Benutzer einfach anpassen, um alle Prozessnebenprodukte von Vorläufern wie TMA, TiCl, DeZ und H2S, einschließlich Partikeln und nicht umgesetzten Vorläufern, zu entfernen. Sie sind für viele ALD-Anwendungen (Atomic Layer Deposition) von Forschungslabors bis hin zu Pilotanlagensystemen geeignet und in Größen von 102 mm bis 203,2 mm Durchmesser erhältlich, wie das Unternehmen mitteilt. Die Anschlussgrößen reichen von NW-25 bis NW-50 zum Schutz von Vakuumpumpen und Leitungen mit Durchflussraten von circa 42,475 bis 127,425 m³/h.

Mass-Vac bietet die Einlassfallen mit austauschbaren Filterelementen an. Dazu gehören Edelstahlgaze für Partikel, Aktivkohle für die Adsorption nicht umgesetzter Vorläufer, Natronkalk zur Säureneutralisierung, Sulfatreat zur H2S-Neutralisierung und Ammoniasorb für NH3 und Amine.

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