Sauberkeit für High Purity Anwendungen

Anzeige Reinigen und Vorbehandeln | Erstellt von SI

In der Halbleiter-, Optik-, Medizin- und Präzisionstechnik entscheiden stabile Reinigungsprozesse über Bauteilqualität, Prozesssicherheit und die Zuverlässigkeit nachfolgender Fertigungsschritte. Dafür hat ein Anbieter von Teilereinigungsanlagen eine neue Maschine entwickelt.

Bei der neuen Niagara UP von BvL Oberflächentechnik handelt es sich um eine modular erweiterbare Kammerreinigungsanlage für High-Purity-Anwendungen mit besonders hohen Anforderungen an Bauteilsauberkeit, Prozessstabilität und flexible Prozessauslegung. Dazu setzt der Hersteller nach eigenen Angaben auf minimale Verschleppung, ein durchgängiges Hygienic Design, Filtration sowie eine flexible Prozessführung für unterschiedliche Bauteile, Medien und Reinheitsziele.

Dafür wurde die Reinigungskammer neu gestaltet. Der Ablauf ist zentriert und nach unten gerichtet, sodass Flüssigkeiten schnell und vollständig abgeführt werden können. Eine runde Kammergeometrie reduziert Toträume, Pfützenbildung und potenzielle Partikelnester. Zusätzliche Düsen sprühen gezielt die Kammerwände ab; auch das Düsensystem selbst kann wahlweise zwischengespült werden.

Auch die Tanks folgen hygienischen Gesichtspunkten: Auf 90°-Ecken wurde verzichtet, um Partikelansammlungen zu vermeiden.

Bei der Niagara UP wird das Medium vor den Reinigungsprozessen grundsätzlich über den Filter geführt. Auch beim Fluten der Kammer, beim Spritzen sowie beim Ablassen des Wassers aus der Reinigungskammer wird über die Filtration gearbeitet. Partikel werden dadurch systematisch aus dem Prozess entfernt.

Der freie Programmablauf ermöglicht eine individuelle Prozessgestaltung. Die Badüberwachung mit BvL-eigenen Libelle-Systemen und automatischer Reiniger-Nachdosierung unterstützt konstante Prozessbedingungen.

Zurück