Polytec ergänzt die optischen 3D-Profilometer der Serie TopMap Micro.View um eine motorisierte XY-Positioniereinheit mit 100 mm Verfahrweg sowie eine motorisierte Kipp-Neige-Plattform. Damit wird das kompakte Weißlichtinterferometer zur vollwertigen Tischmessstation für 2D- und 3D-Profile von Rauheit, Textur, Finish, Mikrostrukturen, Kratzern und Defekten – mit Auflösung im Sub-Nanometerbereich.
Der True-Stitching-Modus ermöglicht das zuverlässige Zusammenfügen mehrerer Einzelmessfelder, auch über deren Randbereiche hinaus.
Wiederholgenaue Messungen im Labor und in der QS
Funktionen wie Focus Finder, Focus Tracker und automatische Zentrierung erhöhen Messgeschwindigkeit und Reproduzierbarkeit. Unterschiedliche Objektive von 0,6X bis 111X erlauben die Anpassung an matte oder reflektierende Oberflächen. Das 0,6X-Objektiv erweitert das Bildfeld auf bis zu 15,53 × 11,71 mm² und ermöglicht neben klassischer Rauheitsmessung auch großflächige Form- und Topografieanalysen.
Für Präzisionsteile, Wafer und Multi-Sample-Analysen
Mit dem motorisierten 100-mm-Verfahrtisch eignen sich die Systeme für die Inspektion größerer Präzisionsteile, 4"-Wafer, Mikrosystem-Arrays sowie für Tray- und Multi-Sample-Messungen. Die erweiterte TopMap Micro.View-Serie adressiert damit Anforderungen moderner Qualitätskontrolle und Oberflächenanalyse in Industrie und Forschung.