Die kapazitiven Sensoren von Micro-Epsilon verfügen über einen neuartigen Sensoraufbau, umfangreiches Zubehör und leistungsstarke Mehrkanalsysteme. Sie liefern submikrometergenaue Werte auch in industriellen Umgebungen. Ihre Linearität, Reproduzierbarkeit und Auflösung ist ebenfalls hoch. Ohne Kalibrierungsaufwand lassen sich die kapazitiven Sensoren mit jedem Controller kombinieren.
Zur Dickenmessung von Batteriefolien werden die Sensoren in die Produktionslinie integriert. Angebracht an einem Messbügel messen die Sensoren von zwei Seiten gegen das Band. Jeder der beiden kapazitiven Wegsensoren liefert ein hochauflösendes Abstandssignal, das direkt im Controller als Dickenmesswert verrechnet wird. Mit dieser Methode wird die Dicke der Batteriefolie mikrometergenau geprüft. Der Messfleck der kapazitiven Sensoren ist größer als bei optischen Messverfahren, wodurch Strukturen und Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche gemittelt werden.