Das Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl und Plasmatechnik FEP hat in den vergangenen Jahren seinen Campus um einige Gebäude und Flächen in Dresden erweitert. Neben einem Technikum für Nanotechnologien und Präzisionsbeschichtung wurde nun der vorerst letzte Bauabschnitt des Fraunhofer-Forschungszentrums RESsourcenschonende Energie-Technologien (RESET) fertiggestellt.
Elektronenstrahl-Kompetenz- und Technologiezentrum
Das RESET soll ein weltweit einzigartiges Elektronenstrahl-Kompetenz- und Technologiezentrum werden. Dazu sollen neben dem Kompetenzzentrum für thermische Elektronenstrahltechnologien im RESET und der Forschung des Fraunhofer FEP auf den Gebieten der Elektronenstrahlanwendungen weitere Arbeitsgebiete entstehen. Das nun fertiggestellte Gebäude beherbergt Anlagen für die Entwicklung nichtthermischer Elektronenstrahltechnologien für Medizin-, Biotechnologie-, Umwelt- und Energieanwendungen. Diese schaffen Grundlagen etwa für die Sterilisation und Hygienisierung von Medizinprodukten, effiziente plasmachemische Syntheseprozesse und die chemiefreie Behandlung von Saatgut.
Forschung in der Dünnschichtplasmatechnologie
Zudem entstand ein Reinraum für die Forschung an Prozesstechnologien für die Sputterepitaxie. Eine Forschungsgruppe des Fraunhofer FEP widmet sich hier der Entwicklung von Magnetrons und Prozesstechnologien, um dünne Schichten (z. B. Gallium-Nitrid-Schichten (GaN)) auf 200 mm Siliziumwafern abzuscheiden und epitaktische Schichten zu erlangen. Daraus resultierende GaN-Halbleiter mit hochpräzisen Schichten sollen künftig in der Leistungselektronik oder Leuchtdioden (LEDs) eingesetzt werden.