Als das Labor für Vakuumphysik im Jahr 1966 bei der PTB gegründet wurde, war die Vakuumindustrie noch ein neu entstehendes Gebiet. Die Aufgabe war, zuverlässige Messtechnik für die Vakuumtechnik zu entwickeln. Nationale Metrologieinstitute (NMI) waren aufgefordert, grundlegende Messnormale für das Vakuum bereitzustellen. Die PTB gehörte weltweit zu den ersten, die dies taten. Heutzutage stellen viele Metrologieinstitute in den Industrieländern Messnormale für das Vakuum bereit und betreiben Forschung zur Verbesserung und Neugestaltung der Vakuummetrologie.
Wandel bei Verfahren zur Vakuummesstechnik
Laseroptische Verfahren sind dabei, die klassischen Methoden zur Realisierung des Pascals zu ersetzen. Die Digitalisierung von Messsystemen und Dienstleistungen macht auch vor der Vakuummesstechnik nicht Halt.
Dieser Workshop zielt darauf ab, die gegenwärtigen und zukünftigen Perspektiven der Vakuummesstechnik aus verschiedenen Blickwinkeln zu diskutieren: Vergangenheit, Forschung, Messtechnik sowie Industrie und Anwender. Den Auftakt macht Karl Jousten, Leiter des Fachbereichs Wärme und Vakuum an der PTB, mit einem Rückblick auf die 60 Jahre Vakuummetrologie in seinem Institut. Jay Hendricks vom us-amerikanischen National Institute of Standards and Technology (NIST), Gaithersburg, gibt danach einen Einblick in die Entwicklung von Vakuumforschung und -service in seiner Einrichtung. Wie die Vakuumtechnik bei den größten und komplexesten Forschungsinstrumenten der Welt aussah und aussehen wird, berichtet anschließend Paolo Chiggiato vom Cern.
Aus der Forschungsperspektive referiert Yuanchao Yang vom NIM China über die Perspektiven der photonischen Messung von Druck, Temperatur und Gasdichte. Es folgen die Vorträge „Am unteren Ende der Druckskala: Atomfallen als Primärnormale“ von Julia Scherschligt, NIST, und „Ergänzung der Vakuumskala durch photonische Messungen: Ideen und Anforderungen“ von Tom Rubin, PTB.
Vorträge aus Industrie und Wissenschaft
Einblicke aus Metrologie und Wissenschaft bieten drei weitere Vorträge. Zuerst berichtet Domenico Mari vom italienischen Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica (INRIM) über „klassische und optische Vakuummetrologie: Erwägungen für die Zukunft“. Matthias Bernien von der PTB geht anschließend der Frage nach, wohin uns die Digitalisierung bei Vakuummetrologie und -service führen kann. Karsten Danzmann vom Max-Planck-Institut für Gravitationsphysik beschließt diesen Vortragsblock mit dem Thema „Das Vakuum schütteln: Gravitationswellen“.
Keinesfalls fehlen darf bei diesem Workshop die Perspektive von Industrie und Nutzern. Martin Wüest von der Inficon AG in Balzers, Liechtenstein, beantwortet die Frage, wie Vakuummessgeräte in Zukunft aussehen wird. Anschließend erläutert Mark van de Kerkhof von der ASML Holding N.V. mit Sitz im niederländischen Veldhoven die bisherige und künftige Rolle des Vakuums in der Halbleiterindustrie.
Veranstaltungsort ist das Hermann-von-Helmholtz-Gebäude auf dem Gelände der PTB in Berlin, Abbestr. 2-12. Im Anschluss an den Workshop findet eine gesellige Veranstaltung zur Verabschiedung von Karl Jousten in den Ruhestand von statt.