Der 700 m² große Reinraum verfügt über ISO 5- und ISO 7-Bereiche. Laut Mitteilung des Unternehmens macht ihn das geeignet für Prozess und Anlagenentwicklung, Bemusterung, Systemmontage oder Anlagenbetrieb. Er bietet optimale Bedingungen, um die Anforderungen in der Halbleiterindustrie, Materialwissenschaft und bei medizinischen Anwendungen zu erfüllen.
Neuartige Halbleiteranwendungen erfordern neue Materialien und deren Anwendung, um Innovationen voranzutreiben und technologische Grenzen zu verschieben. Die Prozess- und Materialexpertise des Unternehmens sind dabei entscheidend für die Entwicklung und Einführung neuer Materialien und die Unterstützung der Kunden bei ihrer Prozess- und Produktentwicklung.
Zunächst will Von Ardenne seine neue Anlagenplattform Opta X300 installieren, welche ab Mitte 2026 für interne aber ebenso partnerschaftliche Entwicklungsprojekte verfügbar sein soll. Der Dresdner Anlagenbauer deckt dabei die gesamte Prozesskette ab – von der Simulation der Prozesse in der Anlage über die von Schichten und deren Funktionen bis hin zur Messung und Bewertung der Schichteigenschaften.
Dies gibt Kunden die Möglichkeit, die Funktion der Beschichtung für ihr Produkt im relevanten Umfeld im Voraus zu testen. So sind zum Beispiel optische Beschichtungen sowie Materialien für piezoelektrische und Speicheranwendungen zunehmend gefragt. Der neue Reinraum und die darin installierten Anlagen sollen die Entwicklung solcher Materialien beschleunigen.
„Wir freuen uns darauf, mit unseren Partnern in dieser hochmodernen Umgebung zusammenzuarbeiten und Innovationen in Anwendungen der nächsten Halbleitergeneration voranzutreiben“, sagt Sven Frauenstein, VP Semiconductor bei Von Ardenne.