Loadlocks übernehmen in der Halbleiterfertigung den kontrollierten Übergang zwischen Atmosphäre und Vakuumumgebung. Dabei sollen Partikel nicht in die Prozesskammer gelangen und die Zykluszeiten für das Ein- und Ausschleusen möglichst kurz bleiben. Für die Steuerung der Abpump- und Belüftungsvorgänge ist deshalb eine Druckmessung über einen weiten Bereich erforderlich.
In vielen Anlagen werden dafür mehrere Sensoren eingesetzt, die unterschiedliche Druckbereiche abdecken. Dies erhöht die Zahl der Komponenten und den Aufwand für Integration und Abstimmung. Die VSL-Vakuumtransmitter fassen die Druckmessung für den Loadlock in einem Gerät zusammen und sind in acht Modellen erhältlich.
Die Transmitter kombinieren zwei piezoresistive Membransensoren mit einem Piranisensor. Damit decken sie einen absoluten Messbereich von 1.200 bis 10⁻⁴ mbar ab. Zusätzlich erfassen die Geräte einen Relativdruckbereich von -1.060 bis +340 mbar gegenüber dem Umgebungsdruck.
Die piezoresistiven Sensoren arbeiten gasartunabhängig, erreichen eine Ansprechzeit von 40 ms und weisen eine Genauigkeit von 0,3 % des Skalenendwerts auf. Im Niederdruckbereich kommt der Piranisensor zum Einsatz. Er dient unter anderem dazu, reproduzierbare Druckbedingungen für die Übergabe zur Prozesskammer zu erfassen.