Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, ein Unternehmen der Busch Group, hat sein Portfolio an Turbomolekularpumpen um die ATH 4506 M erweitert. Mit einem Saugvermögen von 4.500 l/s für Stickstoff ist sie das leistungsstärkste Modell der ATH-M Serie. Die neue Pumpe eignet sich insbesondere für Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz, etwa in der Halbleiterproduktion, bei der Evakuierung großer Vakuumkammern oder in der Großflächenbeschichtung.
Plug-and-Play dank integriertem Controller
Die ATH 4506 M verfügt über einen integrierten Controller, wodurch externe Steuereinheiten entfallen. Das vereinfacht die Installation, reduziert den Platzbedarf und ermöglicht einen schnellen Systemstart. Innerhalb von neun Minuten erreicht die Turbopumpe ihre Nenndrehzahl von 23.500 U/min. Ein integrierter Energiesparmodus senkt zudem die Leistungsaufnahme bei Stillstandzeiten.
Flexibles Temperaturmanagement für unterschiedliche Prozesse
Um verschiedenen Prozessanforderungen gerecht zu werden, ist die ATH 4506 M in zwei Varianten erhältlich: einer unbeheizten Ausführung für saubere, nicht korrosive Prozesse wie die Großflächenbeschichtung sowie einer Version mit Temperaturmanagementsystem bis 90 °C. Letztere ist für korrosive Anwendungen wie die Halbleiterfertigung ausgelegt und reduziert Kondensation sowie Partikelbildung im Pumpeninneren.
Digitale Zustandsüberwachung und hohe Robustheit
Interne Sensoren überwachen kontinuierlich Parameter wie Temperatur, Drehzahl, Spülbedingungen und mechanische Bewegungen. Diese Daten ermöglichen eine Echtzeit-Zustandsüberwachung und unterstützen die vorausschauende Wartung. Dank IoT-Fähigkeit lässt sich die ATH 4506 M in digitale Produktions- und Monitoring-Systeme integrieren.