Die in die Einheit integrierte Turbomolekular-Vakuumpumpe erzeugt das für die Massenspektrometrie erforderliche Vakuumniveau. Damit kann das Massenspektrometer bestimmte Massenbereiche von Gasmolekülen erkennen sowie analysieren und auf diese Weise Daten für die Prozessüberwachung oder Qualitätssteuerung liefern.
Restgase aufspüren und identifizieren
Mit diesem System lassen sich Restgase präzise identifizieren und untersuchen, wie der Anbieter berichtet. Der Hicube Neo RGA arbeitet in einem breiten Druckbereich von Atmosphärendruck bis hin zum Hochvakuum. Er kann in zahlreichen Anwendungen, zum Beispiel der Beschichtung und für unterschiedliche analytische Aufgaben, eingesetzt werden.
Für einen stabilen Betrieb und zum Schutz der Bauteile verfügt das Restgasanalyse-System über mehrere eingebaute Sicherheitsmechanismen. Es enthält außerdem ein Vakuummessgerät zur kontinuierlichen Überwachung des Totaldrucks. Überschreitet der Druck eine vordefinierte Sicherheitsschwelle, schaltet das System das Filament im Massenspektrometer automatisch ab. Dadurch wird eine Beschädigung des Filaments durch einen zu hohen Druck verhindert, was die Standzeit verlängern und die Austauschhäufigkeit reduzieren kann. Zudem besteht die Möglichkeit, das Restgasanalyse-System mit einem integrierten Absperrventil auszustatten.
Zahlreiche Anschlussmöglichkeiten für Sensoren
Das Restgasanalyse-System Hicube Neo RGA bietet zahlreiche Anschlussoptionen für die Integration externer Sensoren und von Überwachungsequipment. Es unterstützt sowohl digitale als auch analoge Ein- und Ausgänge, sodass Daten von zusätzlichen Sensoren – zum Beispiel weiteren Vakuummessgeräten – in die Analyse einbezogen werden können.
Das eingebaute Touch-Display bietet direkten Zugriff auf die Messdaten und zeigt Signale von angeschlossenen Komponenten an. Die Software PV Massspec ermöglicht zudem den schnellen und einfachen Zugang zu den Messungen.
Optionales Rezipienten-Heizgerät beseitigt Restgase
Darüber hinaus lässt sich das Restgasanalyse-System an verschiedene Anwendungen, von der Lecksuche bis hin zu Vakuumöfen, anpassen. Eine solche Option ist ein integriertes Rezipienten-Heizgerät, das zur Freisetzung adsorbierter Gase beiträgt. Indem es diese Gase verdampfen lässt und aus dem System entfernt, reduziert das Heizgerät Verunreinigungen und minimiert Untergrundsignale, die die Messgenauigkeit beeinträchtigen könnten.
Das Restgasanalyse-System Hicube Neo RGA ist für den Plug&Pump-Betrieb ausgelegt und schnell einzurichten. Für Anwendungen, die eine Gasanalyse an mehreren Stellen erfordern, kann das System auf einem Wagen montiert und einfach transportiert werden. Auf diese Weise kann es ohne Demontage zwischen verschiedenen Arbeitsplätzen bewegt werden.