Infineon Technologies nahm 2004 den Betrieb seines Standorts in Dresden auf. In diesem Zusammenhang stellte sich früh die Frage nach zuverlässigen Aggregaten für das Grobvakuum, insbesondere für Pick-and-Place-Anwendungen, wie sie in der Halbleiterproduktion außerhalb des Ultravakuums häufig vorkommen.
Langlebigkeit und Energieeffizienz geben den Ausschlag
Damals fiel die Wahl, trotz höherer Anfangsinvestition, auf die Drehschieberpumpen von Pneumofore. Ausschlaggebend war die Ausrichtung des Unternehmens auf Energieeffizienz, unterstrichen durch verlängerte Garantiebedingungen und messbare Einsparungen beim Stromverbrauch. Diese Kriterien konnten von Mitbewerbern nicht erfüllt werden, wie der italienische Hersteller mitteilt. Die langfristige Perspektive dieses Ansatzes wurde bestätigt: Die 2004 installierten UV16-Vakuumumpen laufen bis 2025 störungsfrei, ohne erkennbare Leistungseinbußen.
Die UV-Vakuumpumpen sind senkrecht ausgelegt und damit platzsparend sowie einfach zugänglich für visuelle Inspektionen und Wartungsarbeiten. Da die Ansaugluft sauber, partikelfrei und ohne aggressive Gase ist, reicht eine Wartung pro Jahr aus. Der geschlossene Kühlmittelkreislauf hält die Einheit auf niedriger Betriebstemperatur, während der Direktantrieb des Elektromotors am Drehschieber-Aggregat eine langsame Rotationsgeschwindigkeit von 1.450 min-1 bei 50 Hz ermöglicht, was eben die Lebensdauer der Kugellager auf mehr als zwei Jahrzehnte Dauerbetrieb verlängert.
Mit dem Ausbau der Fertigung bei Infineon wuchs auch der Bedarf an Grobvakuumtechnik. 2013 wurden zwei weitere UV16-Vakuumpumpen installiert. Durch planmäßige Wartung und den ausschließlichen Einsatz von Original-Ersatzteilen konnte die Leistungsfähigkeit der Vakuumpumpen langfristig sichergestellt werden. Die kontinuierliche Verfügbarkeit ist in der Halbleiterproduktion ein entscheidender Faktor, nicht nur aus betrieblicher Sicht, sondern auch im Hinblick auf Energieeffizienz und CO₂-Reduktion.
Grobvakuumpumpen technisch weiterentwickelt
In den Jahren 2022 und 2023 wurden erneut zusätzliche UV16-Einheiten benötigt. Angesichts der Erfahrungen war Pneumofore erneut die erste Wahl. Die neuen Aggregate wurden jedoch technisch weiterentwickelt und an die gewachsenen Anforderungen angepasst. Dazu gehörten unter anderem ein drehzahlgeregelter Antrieb mit Frequenzumrichter, Wasserkühlung sowie ein Oberschwingungsfilter im Schaltschrank zur Reduzierung elektromagnetischer Störungen. Damit wurden die Vakuumpumpen nicht mehr nur als peripheres Support-Equipment betrachtet, sondern als integraler Bestandteil einer präzise abgestimmten Produktionsumgebung.
Ein weiterer Schritt war die Integration von Monitoring-Systemen. Die Betriebsdaten jeder Vakuumpumpe werden in Echtzeit über eine SPS an die zentrale Leitstelle übertragen. So können Effizienzparameter überwacht, Einstellungen aus der Ferne angepasst und der Vakuumsollwert exakt justiert werden. Diese Vernetzung schafft die Grundlage für einen Prozess mit Präzision, Flexibilität und Betriebssicherheit.
Heute betreibt Infineon am Standort Dresden insgesamt zwölf UV16-Vakuumpumpen mit einer kombinierten Förderleistung von rund 12.000 m³/h. Einige der Einheiten sind seit über zwei Jahrzehnten im Dauerbetrieb, ein Beleg für die Langlebigkeit, Robustheit und Effizienz dieser Aggregate.