Das Vorhaben wird teilweise von Innovate UK, einem Teil von UK Research and Innovation, finanziert, wie Oxford Instruments mitteilt. Quantemol wird dabei seine Software Quantemol Virtual Tool nutzen, um prädiktive Plasmamodelle zu erstellen. Die Modelle werden auf einem Plasmapro 100 Cobra ICP-Ätzsystem im Entwicklungslabor von Oxford Instruments validiert, um robuste und vorhersagbare Plasmaprozesssimulationen zu erstellen.
Die Simulationen werden zur Optimierung von Plasmaprozessen im Hinblick auf höhere Geschwindigkeit und Effizienz verwendet. Die angepasste Wellenformvorspannung ihrerseits soll Schäden an Materialien und Gerätestrukturen auf dem Halbleiterwafer minimieren. Das Ziel ist es, eine schnellere und ressourceneffizientere Entwicklung von Plasmaprozessen für die Halbleiterfertigung sowie eine Verbesserung der Geräteleistung zu ermöglichen.