Von Ardenne brachte seine Drehteller-Beschichtungsanlage Opta X300 im Jahr 2025 auf den Markt. Sie ist die ausgefeilteste Plattform des Unternehmens für die Präzisionsbeschichtung im Sub-Nanometer-Bereich auf anspruchsvollen Substraten. Der Hersteller hat sie speziell für elektrische und optische Schichten für Speicher-, Photonik- und Sensorgeräte entwickelt. Sie kann von der Forschung und Entwicklung bis hin zur Serienfertigung eingesetzt werden. Die Anlage prozessiert Substrate bis 300 mm Durchmesser, inklusive G12-Wafern. Für eine optimale Beschichtung kommt eine spezielle Cars-Technik zum Einsatz. Aber auch weitere Prozessführungen wie Meta Mode, reaktives oder nicht reaktives Sputtern stehen zur Verfügung. Zur Steigerung der Variabilität können Magnetrons beziehungsweise Plasmaquellen auf bis zu fünf Ports pro Beschichtungsseite integriert werden. In-situ-Messtechnik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungsfortschritts steht ebenfalls für optisches Monitoring zur Verfügung.
Der neue Reinraum bei Von Ardenne in Dresden ermöglicht es Kunden, Beschichtungsprozesse zu testen, zu beproben und gemeinsam zu entwickeln. Dabei können sie auf das Know-how des Anlagenbauers zurückgreifen. Der Reinraum verfügt über 200 m² Montage- und Testbereiche der Klasse ISO 5 (Klasse 100) mit Kontrolle der molekularen Luftverunreinigung (AMC) sowie 400 m² Fertigungsfläche in Reinraumklasse ISO 7. Die Opta X300 soll dort ab Mitte 2026 zur Verfügung stehen.