Dabei liegt der Schwerpunkt insbesondere auf der Entwicklung neuer industrieller Abscheidungsverfahren und Schichteigenschaften für Hochleistungs-Metall- und Nitridschichten, die für Neuerungen in den Bereichen Wireless, Power und MEMS unerlässlich sind.
Das neue System bietet Ätz-, Sputter- und Hochtemperatur-Verarbeitungsmöglichkeiten und integriert HiPIMS-Quellen von Evatec. Dies ermöglicht es SAL, hochenergetische Plasmaprozesse und deren Auswirkungen auf Schichteigenschaften wie Dichte, Spannungskontrolle und Gleichmäßigkeit zu untersuchen.
Ralf Eichert, Geschäftsführer von Evatec Europe, kommentierte: „Der SAL-Standort in Villach hat sich bereits als führendes Forschungszentrum in Bereichen wie MEMS und Advanced Packaging etabliert. Die nun durch die neue Anlage verfügbaren Möglichkeiten ergänzen die bestehende Clusterline 200, die sowohl mit Ein- als auch mit Mehrquellen-Sputtertechnik sowie Niedertemperatur-PEALD-Fähigkeiten ausgestattet ist, und machen SAL zu einem perfekten Entwicklungspartner für die Industrie.“
Dr. Mohssen Moridi, Senior Executive Director bei SAL, bestätigte, dass die Investition die Rolle von SAL als europäisches Innovationszentrum für fortschrittliche Materialien und Mikrosystemtechnologien gestärkt habe. Die Zusammenarbeit zwischen Evatec und SAL wurde kürzlich durch eine Absichtserklärung zwischen unseren beiden Unternehmen gefestigt.