Die Vereinbarung stellt einen wichtigen Schritt zur Industrialisierung des APS-Verfahrens (Atomic Pitch Splitting) von Alixlabs dar und soll skalierbare Fertigungssysteme für die Halbleiterstrukturierung ermöglichen. Das APS-Verfahren hat Alixlabs entwickelt, um Herausforderungen bei der Herstellung von Halbleitern der nächsten Generation zu bewältigen, indem es eine präzise Pitch-Aufteilung durch Atomlagenätzung ermöglicht. Dieser Ansatz bietet eine kosteneffiziente und energieeffiziente Alternative zu Multi-Patterning- und EUV-basierten Lithografieverfahren.
Im Rahmen der Absichtserklärung soll VDL ETG Projects die Entwicklung und Herstellung der industriellen APS-Werkzeuge vorantreiben und dabei sein Fachwissen in den Bereichen Systemintegration und Hightech-Gerätefertigung einbringen. Ziel der Zusammenarbeit ist es, APS von der Forschung und Entwicklung in serienreife Systeme für Halbleiterfabriken zu überführen.
„Diese Absichtserklärung stellt einen Meilenstein für Alixlabs dar, da wir von der technischen Validierung hin zur industriellen Umsetzung übergehen“, sagte Jonas Sundqvist, CEO von Alixlabs, und weiter: „Die Partnerschaft mit VDL ETG Projects stärkt unsere Fähigkeit, APS zu skalieren und der Halbleiterindustrie ein neues Strukturierungsparadigma zu bieten. Ihre Industrialisierungskompetenzen sind eine Ergänzung zu unserer Prozessinnovation.“