VIP 4-2025 Vakuum in Forschung und Praxis
Themen der Ausgabe 4-2025:
Premiere: Piezoelektrische
Dünnschichten mit HiPIMS
Herstellung funktionaler Schichten bei niedrigen
Prozesstemperaturen eröffnet Perspektiven für
Halbleiter, Photonik und Quantentechnologien
Laserbasierte Vakuummessung
Quantensicherer Ansatz zur Druckmessung durch
metrologisch rückführbare Absolutwerte – präzise,
stabil und ohne Kalibrieraufwand
Inhaltsverzeichnis VIP 4 / 2025






