VIP 4-2025 Vakuum in Forschung und Praxis

Themen der Ausgabe 4-2025: 

Premiere: Piezoelektrische
Dünnschichten mit HiPIMS

Herstellung funktionaler Schichten bei niedrigen
Prozesstemperaturen eröffnet Perspektiven für
Halbleiter, Photonik und Quantentechnologien

Laserbasierte Vakuummessung

Quantensicherer Ansatz zur Druckmessung durch
metrologisch rückführbare Absolutwerte – präzise,
stabil und ohne Kalibrieraufwand

Inhaltsverzeichnis VIP 4 / 2025