Das Verfahren der industriellen Plasma-Oberflächentechnik ist ein Plasma-CVD-Verfahren, bei dem ausschließlich organische Gase oder Flüssigkeiten („Monomere“) zum Einsatz kommen, die durch den Plasmaprozess polymerisiert werden. Dies ist auch mit solchen Monomeren möglich, die sich ohne Plasma nicht auf herkömmliche Weise polymerisieren lassen. Es entstehen dabei hochvernetzte Polymere, die hydrophil, hydrophob oder als Diffusionssperre wirken können. Plasmapolymere sind chemisch sehr inert und bieten daher einen guten Korrosionsschutz. Ihre mechanische Festigkeit und Härte entsprechen etwa denjenigen hochwertiger Kunststoffe.
Das angegebene Parameter-Fenster stellt typische Betriebszustände dar. Prozesse mit kürzerer Behandlungsdauer, bei höherem Druck und anderen Temperaturen sind grundsätzlich möglich.
Druck | 10 – 1000 Pa |
Temperatur | 20 – 50 °C |
Behandlungsdauer | Minuten |
Plasmaanregung | Gepulster Gleichstrom (kHz) Wechselstrom: - Mittelfrequenz (kHz) - Hochfrequenz (MHz) - Mikrowellen (GHz) |