CVD-Verfahren im Vakuum, wobei Metalle und Metallverbindungen aus in den gasförmigen Zustand gebrachten metallorganischen Verbindungen abgeschieden werden. Hierbei sind geringe Beschichtungstemperaturen notwendig.
CVD-Verfahren im Vakuum, wobei Metalle und Metallverbindungen aus in den gasförmigen Zustand gebrachten metallorganischen Verbindungen abgeschieden werden. Hierbei sind geringe Beschichtungstemperaturen notwendig.
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