Infolge von Telichenbeschuss/Bestrahlung können in einem Material Strukturdefekte auftreten. Diese wirken sich meist als Fehlstellen im Kristallgitters aus. Beim Erwärmen des Materials wird das starre Gitter so weit aufgeweicht, dass die Fremdteilchen die Fehlstellen verlassen können und der Gitterdefekt „ausheilt“.
Aufheizen
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