Verfahren zur Oberflächenanalyse von Festkörpern. Die Probe wird dabei zunächst im Hochvakuum unter einem Lichtmikroskop anvisiert und der zu untersuchende Oberflächenausschnitt (im µm-Bereich) festgelegt. Auf diesen Bereich wird ein energiereicher gepulster Laserstrahl gerichtet, der eine Verdampfung und teilweise Ionisation der Probe verursacht. Die gebildeten Ionen werden massenspektrometrisch nachgewiesen. Aus den im Massenspektrum auftretenden Atom- bzw. Molekülionen ergeben sich Hinweise auf die in der Probe ursprünglich vorhandenen chemischen Elemente und Verbindungen. Die Informationstiefe liegt im µm-Bereich, die Nachweisgrenze im ppb-Bereich. Der Lasermikrosondenmassenanalysator lässt sich zur Analyse von Glasoberflächen und für Lackfilmuntersuchungen einsetzen.