Auger-Elektronen-Spektrometrie (AES)

Methode zur qualitativen und quantitativen Analyse chemischer Elemente in Festkörper-Oberflächen. Dabei wird eine Probe mit Röntgen- oder Elektronenstrahlen bestrahlt, wobei ein Elektron aus einer inneren Schale des im Probenmaterial vorliegenden Elements herausgeschlagen wird. An die Stelle dieses Elektrons tritt ein Elektron aus einem höheren Energieniveau. Die dabei frei gewordene Energie wird zur Emission eines dritten Elektrons aus einer äußeren Schale verwendet, dessen kinetische Energie gemessen wird. Da diese Energie für jedes Element spezifisch ist, kann durch Vergleich mit bekannten Auger-Spektren die Zusammensetzung der Probe ermittelt werden. Das AES-Verfahren ist eine Ergänzung zur Röntgenmikroanalyse, da es besonders gut für die leichteren Elemente Bor, Kohlenstoff, Stickstoff und Sauerstoff eingesetzt werden kann. Für die Informationstiefe ergibt sich bei Metallen ein Wert von ca. 0,5–2 nm und bei Polymeren von 4–10 nm, so dass sich auch auf der Oberfläche adsorbierte Moleküle, Oxidschichten u.ä. mit diesem Analyseverfahren nachweisen lassen.