Oxidkeramische Schichten werden aus flüssigen Vorstufen z.B. über den Sol-Gel-Prozess hergestellt und auf die geeigneten Substrate aufgebracht und mittels thermischer Behandlung gehärtet (gesintert). Anwendungen sind Antireflexbeschichtungen von Gläsern, hochbrechende Schichten für optische Anwendungen, Schutzschichten, elektrisch leitende Schichten, piezoelektrische und magneto-optische Schichten.