Bei diesem Reinigungsverfahren wird unter hohem Druck (ca. 150 bar) stehendes Kohlendioxid in seiner flüssigen Phase als Lösungsmittel verwendet. Komprimiertes Kohlendioxid weist ein relativ hohes Lösevermögen für organische Stoffe, wie Öle oder Fette, auf. Nach der Reinigung wird das flüssige Kohlendioxid aus der Reinigungskammer gepumpt und der Kammerdruck auf Umgebungsdruck gesenkt. Dabei verdampft noch anhaftendes Kohlendioxid und die Bauteile können trocken und fettfrei aus der Kammer entnommen werden.