Eigenspannungen sind mechanische Zug-/Druckspannungen, die in einem Körper herrschen, an dem keine äußeren Kräfte angreifen und der sich im thermischen Gleichgewicht befindet. Eigenspannungen können bei galvanisch erzeugten Überzügen und bei aufgedampften Metallschichten auftreten. Die Größe der Eigenspannung hängt von den Verfahrensparametern ab. Als Eigenspannung erster Art bezeichnet man solche, die im makrokopischen Bereich auftreten; Eigenspannung zweiter Art wirken über mehrere Kristalle; Eigenspannungen dritter Art treten innerhalb eines Kristalls auf.
