Zusammenfassung und Ausblick

Durch die immer weiter fortschreitende Technisierung und die wachsende Komplexität einzelner Fertigungsprozesse steigen die Ansprüche an die zu bearbeitenden Oberflächen innerhalb einer Fertigungskette weiter an. Immer kleiner werdende Strukturen und eine höhere Integrationsdichte bei Bauteilen verlangen Oberflächen mit extrem geringen Restverschmutzungen, zum Teil bis in atomare Größenordnungen. Mit entsprechendem Zeit- und Kostenaufwand können grundsätzlich alle Oberflächen gemäß der für den weiteren Prozess gewünschten Eigenschaften gereinigt und vorbehandelt werden. Die Frage wird sein, ob die gewünschte Funktionalität eines Produkts den immensen Reinigungsaufwand rechtfertigt.

Da der technische Fortschritt rasant voranschreitet, werden die Anforderungen vor allem an die Reinigungstechnik, bei der als Glied der Fertigungskette die vorangegangenen und nachfolgenden Prozesse mit ihren Anforderungen und Entwicklungen berücksichtigt werden müssen, weiter steigen. Die vorgestellten Verfahren und Anwendungen sollen einen kleinen Einblick in die Möglichkeiten und Methoden der Reinigungstechnik geben und einige Trends aufzeigen.

Neben den eigentlichen Reinigungsverfahren werden auch Verfahren zur Herstellung von Oberflächen mit funktionellen Schichten zur Schmutzabweisung und Anti-Haftwirkung weiter entwickelt. Wichtigste Aspekte sind dabei eine möglichst geringe Haftwirkung sowie chemisch und/oder physikalische Beständigkeit gegenüber den Kontaminationen und die rückstandsfreie Entfernbarkeit von Reinigungsmitteln zu erreichen. Solche Oberflächeneigenschaften sind hochinteressant, denn trotz aller Fortschritte durch Forschung und Entwicklung ist die einfachste und kostengünstigste Reinigung die Vermeidung von Verunreinigung.

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