Zur Bestimmung der Härte einer Beschichtung, die die Widerstandsfähigkeit der Schicht gegen lokale äußere Krafteinwirkung beschreibt, werden Verfahren wie die Bestimmung der Vickers- Härte bzw. der Knoop-Härte eingesetzt. Insbesondere bei sehr dünnen Beschichtungen spielt die Schichtdicke eine Rolle bei der Bestimmung der Härte. Daher werden Verfahren wie die Mikrohärte (d.h. geringe Belastung und geringe Eindringtiefe des Vickersdiamanten) nach DIN 55676 verwendet. Neben der Härte lässt sich auch der E-Modul der Schicht bestimmen.