Laser-CVD

Laser-CVD

CVD-Verfahren, wobei die chemische Reaktion durch einen Laserstrahl ausgelöst wird, der auf das Substrat gerichtet ist. Höhere Abscheidungsraten als bei konventioneller CVD. Laser-CVD ermöglicht die lokale Abscheidung, dadurch ist die Strukturierung möglich.

 

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