Bei der Dampftrocknung wird reines Wasser bzw. reines Lösemittel verdampft und mittels Heizstrahlern überhitzt. In diesen überhitzten Dampf werden die zu trocknenden Bauteile eingebracht. Dabei werden die Bauteile im Kondensationsdampf gespült. Die Bauteiltemperatur erhöht sich auf die Dampftemperatur, welche oberhalb der Siedetemperatur der anhaftenden Reinigungsflüssigkeit liegt. Nach dem Entfernen der Bauteile aus der Dampfzone verdampft die restliche Flüssigkeit durch die gespeicherte Eigenwärme der Bauteile.