Gleichzeitiges Eindiffundieren von Kohlenstoff und Stickstoff aus dem Reaktionsgas Ammoniak, Wasserstoff und Kohlenoxiden oder aus Ammoniak, Kohlenwasserstoffen und Kohlenoxiden bei ca. 600°C. Badcarbonitrieren 700-900°C): Kohlenstoff und Stickstoff aus Cyanaten oder Cyaniden und Luftsauerstoff. Es entsteht an der Oberfläche eine 15 µm starke Verbindungszone (Nitridschicht) mit darunterliegender bis zu 1 mm starker Diffusionszone; die Behandlungszeit beträgt bis zu 5 Stunden.