Weißlichtinterferometer

(WLI) ist ein optischer Flächensensor nach dem Funktionsprinzip der Weisslichtinterferometrie. Diese Technologie ermöglicht eine schnelle und hochgenaue Erfassung der Oberflächentopografie an verschiedensten Materialien. Der Geräteaufbau gleicht dem eines klassischen Interferometers, jedoch nutzt man hier nicht kohärentes Licht, sondern Weißlicht. Dieses zeichnet sich durch eine sehr kurze Kohärenzlänge aus und besitzt dadurch hervorragende Eigenschaften zum Messen von Oberflächentopographien. Die Höheninformation kann im Gegensatz zur klassischen Interferometrie dann auch bei Stufensprüngen im Messobjekt eindeutig zugeordnet werden. Der zu messende Ausschnitt der Oberfläche wird auf eine CCD-Kamera abgebildet. In den eingesetzten Interferenzobjekten wird mit Hilfe eines Strahlteilers der abgebildete Ausschnitt auf eine hochgenaue Referenzfläche im gleichen Maßstab projiziert, so dass sich auf der Kamera die Bilder von Probe und Referenz zu einem Interferogramm überlagern. Beim Messen wird entweder das Objektiv oder das Werkstück mit einem Piezopositionierer in kleinen Schritten in Z-Richtung verfahren. Die dabei auftretenden Interferogramme werden als Bilderstapel aufgenommen, ausgewertet und in Höhendaten umgerechnet.