TOF-SIMS

Bei der (Time Of Flight-SIMS) Flugzeit-SIMS handelt es sich um eine spezielle Variante der SIMS. Diese Variante benutzt einen gepulsten Primärionenstrahl mit so geringer Stromdichte, dass während einer Oberflächenanalyse nur ein Bruchteil einer Monolage abgetragen wird. Mit dieser quasi zerstörungsfreien („statischen“) Analyse können auch große Moleküle und charakteristische Fragmente von sowohl organischen als auch anorganischen Materialien nachgewiesen werden. Über die Information zur elementaren Zusammensetzung hinaus können mit Hilfe von Referenzspektren somit auch Verbindungen (organische Materialien wie z.B. Polymere) identifiziert werden. Das Prinzip der Flugzeit-Massenspektrometrie basiert darauf, dass durch die Messung der Flugzeiten der Sekundärionen für die Strecke von der Oberfläche bis zum Detektor die Masse der jeweiligen Teilchen sehr genau bestimmt werden kann. Die Attraktivität des TOF-SIMS-Verfahrens liegt vor allem in seiner hohen Nachweisempfindlichkeit und dem großen zugängigen Massenbereich, durch den auch organische Moleküle mit Massenzahlen über 10000 amu (amu = atomic mass unit = atomare Masseneinheit) erfasst werden können.