Röntgenfluoreszenzspektroskopie

(Röntgenfluoreszenzanalyse; RFA) ist ein Verfahren zur raschen, zerstörungsfreien quantitativen Analyse von chemischen Elementen mit Ordnungszahlen ≤ 9 (Fluor). Die feste, pastöde oder flüssige Probe wird mit der polychromatischen primären Röntgenstrahlung einer Röntgenröhre bestrahlt, wobei die Elektronen aus den inneren Schalen der Probenatome auf energetische höhere Niveaus angehoben werden. Die entstandene Lücke wird durch Elektronen aus weiter außen gelegenen Schalen aufgefüllt, was zur Emission von für das jeweilige Element typischen, charakteristischen Röntgenstrahlen führt. Diese werden mittels eines Analysatorkristalls spektral zerlegt und das entstandene Spektrum durch Photographie oder mit Hilfe von Zählrohren registriert. Die Röntgenfluoreszenzspektroskopie wird häufig zur Untersuchung von Metallen und anderen Werkstoffen eingesetzt. Aufgrund ihrer hohen Informationstiefe (ca. 0,1mm) ist sie kein typisches Oberflächenanalyseverfahren.