Ionenimplantation

Verfahren der industriellen Plasma-Oberflächentechnik zur Randschichtmodifikation, bei dem die Gas- oder Metallionen mit hoher Energie auf die Werkstückoberfläche geschossen werden. Die Fremdionen dringen dabei in einen oberflächennahen Bereich von bis zu einem Mikrometer ein, ohne dass ein zusätzlicher Schichtauftrag stattfindet. Die Ionenimplantation dient vorrangig der Verbesserung des Verschleißschutzes, der tribologischen Eigenschaften, der Korrosionsbeständigkeit sowie der elektrischen Eigenschaften.

Das angegebene Parameter-Fenster stellt typische Betriebszustände dar. Prozesse mit kürzerer Behandlungsdauer, bei höherem Druck und anderen Temperaturen sind grundsätzlich möglich.

Druck

10-5 – 0,1 Pa

Temperatur

20 – 200 C

Behandlungsdauer

Minuten bis Stunden

Ionenstrahlerzeugung

Gasentladung, Stoßionisation