Industrielle Plasma-Oberflächentechnik

Verfahren der Plasma-Oberflächentechnik, die für industrielle Produktion eingesetzt werden. Die Verfahren sind in der Regel nach Anwendungsbereichen unterschieden und lassen sich über Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Behandlungsdauer charakterisieren. Die Verfahren der industriellen Plasma-Oberflächentechnik umfassen:

● Ionenimplantation

● Plasma-Ätzen

● Plasma-Aktivieren

● Plasma-CVD

● Plasma-Diffusion, Plasma-Wärmebehandlung

● Plasma-Reinigung, Plasma-Sterilisation

● Plasma-Polymerisation

● Plasma-PVD (Plasma-Physical Vapour Deposition)