Elektrochemische Abscheidung

Abscheidung aus einem meist wässrigen Elektrolyten durch Stromdurchgang. Das Substrat ist entweder als Kathode geschaltet (Abscheidung von Metallen) oder als Anode (anodische Oxidation). Dieses Verfahren hat sich etabliert und ermöglicht es, im Vergleich zu PVD und CVD dicke Schichten zu erzielen. Es sind hohe Abscheidungsraten möglich. Im Vergleich zu PVD und CVD ist es ein preiswertes Verfahren, das aber vielen Fällen als ökologisch problematisch gilt.