Biasspannung

ist eine Hilfsspannung in Vakuumbeschichtungsprozessen. Unter der Wirkung einer Biasspannung werden positiv geladene Ionen auf ein negativ vorgespanntes Substrat beschleunigt. Mit Hilfe der Biasspannung kann die Beschichtungsrate und die Beschichtungstemperatur gesteuert werden.