ARC-Verfahren

Dieses Verfahren ist eine Variante des PVD-Verfahrens. Zwischen einer Anode und dem als Kathode geschalteten Beschichtungswerkstoff (Target) wird ein Lichtbogen gezündet, der über das Target wandert. Bei Kontakt des Lichtbogens mit dem Target wird Material in den gasförmigen Zustand gebracht und erreicht mit hohem Ionisierungsgrad das Substrat. Dieses Verfahren wird u.a. in der Werkzeugbeschichtung mit guten Ergebnissen in der Haftfestigkeit eingesetzt. Mitunter entstehen raue Schichten durch schmelzflüssige, aus dem Target herausgeschleuderte Teilchen (Droplets) auf dem Substrat.

siehe Lichtbogenverdampfen